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板式PECVD上下料机
产品特点
最高产能可达到6000pcs/h
可根据客户需求进行定制
设备结构简单稳定
技术参数
技术参数
相关参数
产速
4000 /6000 pcs/h(可订制)
碳框尺寸
10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可选)
硅片尺寸
166mm-210mm
碎片率
≤0.02%
开机率
≥98%
功率
15kW
耗气量
500L/min
具体参数如有变动,本公司不另行通知!
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